Daihen 3D39-000004-V2 射频自动匹配器

Daihen 3D39-000004-V2 射频自动匹配器产品特点Daihen 3D39-000004-V2 是一款高性能射频自动匹配器工作频率60MHz、功率5kW适用于半导体等离子体工艺。以下是该型号的15项核心特点工作频率60MHz适配等离子体工艺需求。额定功率5kW满足中高功率制程。自动阻抗匹配快速调至50Ω标准。有效抑制反射功率提升传输效率。内置高精度功率采样实时监测功率。水冷散热结构支持长期满功率运行。匹配速度快确保等离子体稳定起弧。具备过功率、过温等多重保护功能。标准通信接口便于与主机联动。内部精密可调元件匹配范围宽。自动跟踪调节应对腔体阻抗波动。洁净防尘设计适合无尘车间使用。故障代码自检快速定位异常。整机屏蔽结构抑制射频干扰。出厂已校准上机即可使用。总之Daihen 3D39-000004-V2 具备精准匹配、稳定可靠、易于维护等特点是半导体工艺中实现高效射频传输的可靠选择。