在使用单色器Al靶即单色化Al Kα X射线源能量为1486.6 eV进行X射线光电子能谱XPS分析时元素灵敏度因子Relative Sensitivity Factor, RSF用于将测得的光电子峰强度转换为原子浓度实现半定量分析。根据权威公开资料以下是单色器Al靶测定时部分元素的灵敏度因子RSF表主要基于文献和提供的数据并以1s或2p轨道的RSF值为准因XPS通常使用这些主峰进行定量