EUV 2nm光刻机系统的模型表格EUV-D1-0001~ 0015编号类别领域模型配方定理/算法/模型/方法名称定理/算法/模型/方法的逐步思考推理过程及每一个步骤的数学方程式和常量/标量/向量/变量/参数列表精度/密度/误差/强度底层规律/理论定理典型应用场景和各类特征变量/常量/参数列表及说明数学特征语言特征时序和交互流程的所有细节/分步骤时序情况及数学方程式流动模型和流向方法的数学描述软件/硬件EUV-D1-0001​系统集成模型集成工程制造基于多物理场耦合与高阶控制的状态空间模型